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格納微推出高精度 MEMS-IMU新品

文章附圖

研究院在孵企業(yè)格納微又出新產(chǎn)品了

MEMS-IMU新品MY53HE

小尺寸、高精度、高可靠、高性價比的慣性測量單元

內(nèi)置高性能三軸陀螺儀和三軸加速度計

具有極高的陀螺和加速度零偏穩(wěn)定性

輸出高精度和加速度數(shù)據(jù)

新品速速,了解一下!

慣性測量單元



      慣性測量單元(Inertial Measurement Unit,以下簡稱IMU)是測量物體三軸姿態(tài)角(或角速率)以及加速度的裝置,一般由三軸陀螺儀和三軸加速度計組成,可以正確檢測出包含從微小的傾斜到大范圍動作在內(nèi)的慣性運動信息。IMU大多用在需要進行運動控制的設(shè)備,如汽車和機器人上,也被用在需要用姿態(tài)進行精密位移推算的場合,如潛艇、飛機、導彈和航天器的慣性導航設(shè)備等。


慣性傳感器



      慣性傳感器包括加速度計(也叫加速度傳感器)和角速度傳感器(也叫陀螺儀),以及它們的單、雙、三軸組合慣性測量單元(也稱IMU)和AHRS。


      加速度計由檢測質(zhì)量(也稱敏感質(zhì)量)、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成,其實就是利用加速度的原理計算物體在空間運動的狀態(tài),起初加速度計只是感應(yīng)地表垂直方向加速度,早期也只是應(yīng)用在檢測飛機過載的儀表系統(tǒng)中。經(jīng)過功能升級、優(yōu)化,現(xiàn)在實際上可以感知物體任意方向上的加速度。目前主流的是3軸加速度計,測量的是物體在空間坐標系中X、Y、Z三軸上的加速度數(shù)據(jù),可以全面反映物體平移的運動性質(zhì)。



      與加速度計測量維度不同,根據(jù)陀螺儀的定義,可以很容易理解到陀螺儀主要是通過測量空間坐標系中陀螺轉(zhuǎn)子的垂直軸與物體之間的夾角,現(xiàn)在的主流陀螺儀也是三軸,即測量物體在X、Y、Z軸上旋轉(zhuǎn)的數(shù)據(jù),分別為縱搖、橫搖、垂搖。


      最早的陀螺儀都是機械陀螺儀,內(nèi)置高速旋轉(zhuǎn)的陀螺,正因為陀螺在萬向支架上能夠保持高速穩(wěn)定旋轉(zhuǎn),所以最早陀螺儀在航海中用來辨別方向,確定姿態(tài)以及計算角速度,后來逐漸被應(yīng)用在飛機儀表上。但是機械式陀螺儀對加工精度要求很高,還容易受外界震動影響,所以機械陀螺儀的計算精度一直都不高。


      后來為了提升精度和可適用性,陀螺儀的原理已經(jīng)不單單是機械式的了,現(xiàn)在已經(jīng)發(fā)展有激光陀螺儀(光程差原理)、光纖陀螺儀(薩格納克效應(yīng),光程差的一種)和微機電陀螺儀(即MEMS,它是根據(jù)科里奧利力原理,利用其內(nèi)部的電容變化計算角速度,微機電陀螺儀在智能手機中最為常見)。


      簡單說一下磁力計,磁力計和指南針的原理相似,可以測量物體在地理位置上東南西北四個方向上的具體位置。


      通俗來說,加速度計可以判斷物體的運動距離,陀螺儀計算物體旋轉(zhuǎn)了多少度,磁力計分辨物體的朝向。所以在很多實際應(yīng)用中,加速度計、陀螺儀以及磁力計都是組合起來使用,最常用的6軸傳感器就是三軸加速度計和三軸陀螺儀,這些統(tǒng)稱為慣性測量單元(IMU)。9軸傳感器通常是指三軸加速度計、三軸陀螺儀和三軸磁力計。


      由于MEMS技術(shù)的應(yīng)用,IMU的成本也下降了不少,目前其應(yīng)用相當廣泛,小到智能手機、可穿戴設(shè)備,大到汽車、無人機、飛機、導彈。


      IMU精度不同、應(yīng)用領(lǐng)域不同,價格相差也較大,如下圖所示。


微機電系統(tǒng)


      微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,以下簡稱MEMS)也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。MEMS是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。


      MEMS是一個獨立的智能系統(tǒng),可大批量生產(chǎn),其系統(tǒng)尺寸為幾毫米乃至更小,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級。常見的產(chǎn)品包括MEMS加速度計、MEMS麥克風、微馬達、微泵、微振子、MEMS光學傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS濕度傳感器、MEMS氣體傳感器等等以及它們的集成產(chǎn)品。


MEMS-IMU在消費領(lǐng)域的應(yīng)用


      MEMS慣性傳感器采用有別于傳統(tǒng)慣性傳感器的集成電路加工工藝,具有壽命更長、制造成本低廉且可靠性更高等優(yōu)點,同時具有體積、耗電量更小、重量更輕、易集成、大批量生產(chǎn)等特點。基于MEMS陀螺和加速度計的IMU體積小、功耗低,其批量生產(chǎn)的特性特別適用于需求量大、追求低成本的場合,如家用汽車、消費無人機、智能手機、運動相機、智能眼鏡、虛擬現(xiàn)實(VR)、室內(nèi)導航等中低端領(lǐng)域。


MEMS-IMU在高端領(lǐng)域的應(yīng)用


      隨著性能的提升,MEMS-IMU在高端領(lǐng)域的應(yīng)用從最早的姿態(tài)測量和平臺穩(wěn)定擴展到目前的慣性導航和陀螺尋北,在高端軍工、航空航天、自動駕駛等領(lǐng)域逐漸被廣泛應(yīng)用。和傳統(tǒng)的慣性導航系統(tǒng)相比,MEMS-IMU更能夠充分發(fā)揮作戰(zhàn)武器的“靈巧性、智能性”,在保證作戰(zhàn)效能的條件下,使其具有“輕質(zhì)化、微型化”特點??蓮V泛應(yīng)用于中短程戰(zhàn)術(shù)導彈、遠程制導炮彈、精確制導炸彈、戰(zhàn)場機器人、軍用小型無人機、單兵導航系統(tǒng)等。


      作為MEMS-IMU需求的兩級,高端軍工、航空航天等領(lǐng)域和低端消費等領(lǐng)域具有截然不同的特性。高端應(yīng)用領(lǐng)域起到了“推力”的作用,通過不計成本的資助實現(xiàn)了技術(shù)的不斷進步;低端應(yīng)用領(lǐng)域則起到了“拉力”的作用,利潤的吸引力使得MEMS-IMU技術(shù)不斷走向產(chǎn)業(yè)化。


      在面向高端應(yīng)用需求時,主要看重MEMS-IMU在提供高性能的同時保證較小的體積和功耗,在成本和產(chǎn)量方面并不是很看重。MEMS-IMU的后期標定和補償工作較為復雜,其投入甚至超過了器件本身制造的成本,因此總體成本相比一些傳統(tǒng)的IMU甚至沒有太多優(yōu)勢。


高精度MEMS-IMU市場新機遇


      在現(xiàn)代戰(zhàn)爭條件下,MEMS-IMU的幾大突出特點決定了它將成為武器系統(tǒng)中慣性導航產(chǎn)品的一股生力軍。在軍事領(lǐng)域還有許多中端應(yīng)用領(lǐng)域,特別是無人作戰(zhàn)系統(tǒng)和智能彈藥的姿態(tài)測量和平臺穩(wěn)定等,對于體積較小、成本可控、性能較高的MEMS-IMU具有較迫切的需求;而且戰(zhàn)術(shù)級武器平臺數(shù)量較多,MEMS-IMU的需求量較大;該應(yīng)用領(lǐng)域需要將高精度MEMS-IMU技術(shù)進行產(chǎn)業(yè)化。


      民用領(lǐng)域,高精度MEMS-IMU市場可能會進入新一輪的繁榮周期,其主要受到兩大趨勢推動:(1)機器人時代來臨;(2)工業(yè)應(yīng)用增長。此外,高精度IMU市場迎來許多新機遇,包括自動/無人駕駛汽車、無人機、農(nóng)業(yè)機械、船舶、結(jié)構(gòu)監(jiān)測等。



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